Motion & Vibration Control
運動控製與振(zhèn)動控製

 

菲克科技(jì) Feinixs - 提供用於精密定位的高速I高精度(dù)I高穩定性運(yùn)動控製產品

Feinixs的產品係列主要包(bāo)含:線性位移、旋轉位(wèi)移(yí)、垂直位移的運動控製產品,並提供配套的驅動控製器。

 

明立Meiritsu - 一(yī)家生產隔(gé)振(zhèn)臺和光學麵包板的製造商

產品涵蓋光學平臺、超大型平臺、無磁(cí)平(píng)臺(tái)、自由組合型平臺等等,主動除振平臺技術在國際間位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大麵板(bǎn)廠家設備的必選產品。已經在中國、韓國設立工廠(chǎng),為當地客(kè)戶提供定(dìng)製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客戶提供優質、有保(bǎo)障的產品和服(fú)務。

 

EXCELITAS - LINOS - 精(jīng)密光機產品

提供(gòng)各種精密光機產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列(liè)、鏡座、立柱、支架和位移(yí)臺,以及封閉的(de)Tube-C係列、導軌係列和耐用的X-95 Profile係列。

 

Feinixs的產品(pǐn)係列主要包含:線性位移、旋轉位移、垂(chuí)直位移的運動控製產品,並提供配套(tào)的驅動控製器。

 

  • • 電動平移臺



    電動平移臺涵蓋了範圍⼴泛的精密(mì)線性定位平臺, 用於實現精確(què)平移運動。

 

  • • 電動旋轉臺



    電動旋轉臺(tái)用於精確控製旋轉角度和速度,用於進行精確的位置定位、測試、測(cè)量和(hé)加工等(děng)工(gōng)作

 

  • • 電動升降(jiàng)臺



    電動升降臺為三維掃描提供了Z軸(zhóu)位移,靈巧的設計讓升降臺可以應用於空(kōng)間受限的場景。

 

  • • 運動係統



    我們提供多軸的運動控製係統,並確保係統精度。除了普通版本外,我們也提供不鏽鋼版本、真(zhēn)空版本(běn)。

 

  • • 控製驅動



    我們驅動控製覆蓋:伺服電機(jī)、壓電驅(qū)動、步進電機。

 

 

到目前為止(zhǐ),明立(Meiritz)積累(lèi)的專業知識和專業能力(lì)已經生產了600多種被動隔振器,。隨著超高(gāo)精度製造業需求的不斷增長,如半導(dǎo)體,明立(Meiritz)也推出了主動型的隔振器,來解決製造或實驗過程中(zhōng)因振動(dòng)帶來的問(wèn)題。

產品涵蓋(gài)光學平臺、超大型平臺(tái)、無磁(cí)平臺、自由組(zǔ)合型(xíng)平臺等等,主動隔振平臺技術在國際間位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬將,成為各大麵板廠(chǎng)家設備的必(bì)選產品。已經(jīng)在(zài)中國、韓國設立工廠,為當地(dì)客戶提(tí)供定製(zhì)化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認(rèn)證,為客(kè)戶提供(gòng)優質、有保障的產品和服務。

 

光學平臺係統

 

  • • AYA 係列-採用蜂窩結構(gòu)桌麵的空氣彈簧式隔振(zhèn)裝置



    蜂窩桌麵空氣彈(dàn)簧式隔振裝置,隔(gé)振性能升級,機構多樣。
    Meiritsu Seiki 專有的平行擺動機構增強了水(shuǐ)平隔振性能。排(pái)除(chú)了垂直和水平各個方(fāng)向的細微振動,滿足(zú)幹涉儀和全息術等光學實驗的需要。此外,各(gè)結構的性能也得到了(le)進(jìn)一(yī)步改進。 這是一種高性能的隔振裝置,通(tōng)過蜂窩麵包板改善了麵板的輕量化但(dàn)保持了高剛性的(de)特性。

    應用行業:
    • 光學和激光實驗

 

工(gōng)作臺型光學(xué)隔振平臺

 

  • • ADZ-A 係列- 桌子型空氣彈簧隔振(zhèn)平臺



    兼具性價(jià)比、隔振性能和(hé)可操作性的新型係列。
    ADZ-A係列是暢(chàng)銷(xiāo)的ADZ係列的高度升級版本。
    隔振性能進一步增強,工作舒適性大大提高,並增加了更大的安裝麵板尺寸。此外(wài),為了使安(ān)裝在隔振器上的設備具有更(gèng)好的可操作性,有許多選項可供選擇。
    這些因素共同創造了一種高性價比的隔振裝(zhuāng)置,無論設備類型或使用場所如何,都可以使用。

    應用:


 

桌麵型隔(gé)振平臺

 

  • • AVT係列(liè)- 桌麵型空氣彈簧隔振平臺



    AVT係列是一款用來配套精密儀器的高性能臺式隔振平臺
    此款臺式減振平臺採用先進的(de)空氣懸架式隔(gé)振器。所有隔振功能都集(jí)成在一個緊湊的主機上。共有16 種型號來應對不同(tóng)的(de)精密(mì)機器的特徵和隔振需求,且能夠簡易地構建出高性能的隔振環境。

    典型應用:

  • • ME係列-桌麵型主動隔振平臺



    三維(六自由度)桌麵型主(zhǔ)動隔振平(píng)臺
    該平臺可以控製三個維度(六個自由度)的振動,同時(shí)連續監測負載臺的振動。通過(guò)內(nà)置的驅(qū)動器施加反向位的力,通(tōng)過這種方式(shì)實現振動控製。

 

  • • AET係列- 桌麵式鋼蜂窩空氣懸架隔振平臺



    集成了高性(xìng)能隔振係統的桌麵式鋼蜂窩表麵板空(kōng)氣彈簧式隔(gé)振光學平臺
    隨著激光(guāng)器(qì)本體和外圍設備的小型化以及光纖(xiān)技術的改進,光學實驗通常不需要像過(guò)去那樣長的光(guāng)路。Meiritsu Seiki一(yī)直在提供一係列許多桌麵型隔振設備。AET係列將其與鋼蜂窩表麵板相結合(hé),是小麵積光學實驗的理想隔振裝置。

    應(yīng)用:



 

隔振器

 

  • • MAPS 係列- 氣動控製的主動隔振係統



    六自由度主(zhǔ)動控製為(wéi)所有自由度的振(zhèn)動提供出色的隔振、阻尼和定位性能
    MAPS 係列(liè)是一種主動隔振裝置,它將所有必要的功能組合成一個緊(jǐn)湊的裝置,因此可以很容易地集成(chéng)到客(kè)戶的設備中。

    應用行業:
    • 半導體

 

  • • MRZ係列-主動式氣(qì)懸浮係(xì)統



    在(zài)MAPS係列的基礎上,我們開(kāi)發了高性能、合理的主動氣動懸架係統MRZ係列!

    應(yīng)用行業:
    • 測量
    • 半導體工業

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測(cè)量儀器(qì)、超精(jīng)密機等。

 

  • • AP大負載空(kōng)氣彈簧式隔振器



    AP 係列產品是為精密儀器量身定做(zuò),由低成本、最適合您精密儀器的隔振係統構成的。
    我們的隔振裝置,除了(le)具有優秀的性能外,更重視產品的靈活性。當今有越來越多的精(jīng)密儀器需要將最匹配的隔振裝置與精密儀器直接組裝,能夠滿足這類客戶需求的隔振裝(zhuāng)置就(jiù)是我們的 AP 係列。該係(xì)列產品不僅(jǐn)擁有優越(yuè)的(de)隔振性能,還具有強大的拓展性。我們的 AP係列產品(pǐn)可以為您的精密儀器提供更為理想的隔振(zhèn)環境。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立的隔振產品廣泛應用於下列領域:

  • • 顯微鏡係統
  • • 光(guāng)學和激光實驗
  • • 測量和稱重儀器
  • • 半導體製造和精密加工
  • • 納米(mǐ)表(biǎo)麵分析
  • • 地震和防災

 

埃(āi)賽(sài)力達的LINOS®光機器(qì)件使用高(gāo)精密度的工程技術和高(gāo)級的材料,可確保在科學(xué)研究和光子創新(xīn)中,提供出色的穩定性、可調節性和高性能。我們可以提供(gòng)從Qioptiq®獲得的各種精密光機產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡座(zuò)、立柱、支架和(hé)位移臺,以(yǐ)及封閉的Tube-C係列、導(dǎo)軌係列和(hé)耐用的X-95 Profile係列。

 

LINOS麵包板(bǎn)和安裝板(bǎn)

埃(āi)賽力達的LINOS®麵包板和安裝板係列可以作為所有光(guāng)學實驗裝置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一員,可提供多種精密的LINOS®光圈、針孔和狹縫結(jié)構,可用於實驗裝置中嚴格的光控製。

 

LINOS Microbench光機工作臺籠式係統

Microbench屬於原(yuán)先的籠式光機係列,小巧(qiǎo)緊湊,可精確居(jū)中,易於集成和擴展。LINOS® Microbench擁有全麵的光學和機械部件,是許多(duō)光機裝置不可缺少的一部分。經過優化,可搭(dā)配使用從18到31.5毫米直徑的光學器件。

 

LINOS鏡座(zuò)

鏡座是光學組件中不可或缺的元件。埃(āi)賽(sài)力達提供的各種底座(zuò)包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X係列鏡座(zuò),可(kě)滿足科學領(lǐng)域和工業領域的廣泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力達有(yǒu)多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形和圓柱形元件的支架,以及用於已安裝和(hé)未安裝的(de)光學器件或稜鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench係統是一種精密的構建係列,其光束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench係統更加緊湊。

 

LINOS調整架

埃賽力達(dá)提供種類(lèi)豐富的精密LINOS®調整架,包括手動調節、線性調節、X-Y位移臺、旋轉位移臺(tái)和測角儀(yí),測角儀有多種調節範圍(wéi)和負(fù)載能力。

 

LINOS導軌係統(tǒng)

LINOS®導軌係統可用於構建光學工作臺和光束轉(zhuǎn)向係統。堅固的鋁(lǚ)合金上的軸承表麵經過精密銑削,並進(jìn)行了耐(nài)磨的黑色或無色陽極氧化處理,使這些導軌係統成為線性(xìng)、平麵甚至(zhì)3維結構的理想基座。

 

LINOS管式係統

埃賽力達還提供了封(fēng)閉(bì)的模塊化LINOS管式係統,用於(yú)要(yào)求(qiú)較高(gāo)的不透光(guāng)、無(wú)塵的實驗裝置,這是對我們的LINOS® Microbench和Nanobench開方式(shì)籠式光機(jī)係統的補充。

 

菲克(kè)科技 Feinixs - 提供用於精密定(dìng)位的高速I高精度I高穩定性運動(dòng)控製產品

Feinixs的產品係列主要包含:線(xiàn)性位移、旋轉位移、垂直位移的運動控製產(chǎn)品,並提供配套(tào)的驅動(dòng)控製器。

 

明立Meiritsu - 一家生產隔振臺(tái)和(hé)光學麵包板的製造商

產品涵蓋光學平臺、超大型平(píng)臺、無磁平臺、自(zì)由組合(hé)型平臺等等,主動除振平臺技術在國際間位居前列,在FPD領域集中(zhōng)的韓國,過關斬將,成為各大麵板廠家設備的必選產品。已(yǐ)經在中國、韓國設立工廠,為當地客戶提供定製化服務。公司通過ISO9001,ISO14000認證,為客(kè)戶(hù)提供優質、有(yǒu)保障的產品和服務。

 

EXCELITAS - LINOS - 精密光機產品

提供各種精密光機(jī)產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架(jià)和位移臺,以及封閉的Tube-C係列、導軌係列和耐用(yòng)的X-95 Profile係列(liè)。

 

Feinixs的產品係列主要包含:線性位移、旋轉位移、垂直位移(yí)的運動控製產品,並提供配套(tào)的驅動控製器(qì)。

 

  • • 電動平移臺



    電動平移臺涵(hán)蓋(gài)了範圍⼴泛的精密線(xiàn)性定位(wèi)平臺, 用於實現精確平移運動。

 

  • • 電(diàn)動旋轉臺



    電動旋(xuán)轉臺用於精確控製旋轉角度和速度,用於進行精確的位置定位、測(cè)試、測量和加工等工作

 

  • • 電動升降(jiàng)臺



    電動升降臺為三維掃描提(tí)供了Z軸位(wèi)移(yí),靈巧的設計讓升降臺可以應用於空間受限的(de)場景。

 

  • • 運動係統



    我們提供多軸的運(yùn)動(dòng)控(kòng)製係統,並確保係統精度。除了普通版本(běn)外,我們也(yě)提供不鏽鋼版本、真空版本。

 

  • • 控製驅動



    我們驅動控(kòng)製覆蓋:伺服電機、壓電驅動、步進電機。

 

 

到目前為止,明立(Meiritz)積累的專業知(zhī)識和專業能力已經生產了600多種被動隔振器,。隨著超高精度製造業需求(qiú)的不斷增長,如半導體,明(míng)立(Meiritz)也推出了主動型的隔振器,來(lái)解決製造或實驗過程(chéng)中(zhōng)因(yīn)振動帶來的問題。

產品涵(hán)蓋光學(xué)平臺(tái)、超大型平臺、無磁平臺、自(zì)由組合型平(píng)臺等等,主動隔振平臺技術在(zài)國際間(jiān)位居前列,在FPD領域集中的韓國,過關斬(zhǎn)將,成為各大麵板廠家設備的必選產品。已經在中國、韓國設立工廠,為(wéi)當地客戶(hù)提供定製化服(fú)務。公司(sī)通過ISO9001,ISO14000認(rèn)證,為客戶提供優質(zhì)、有(yǒu)保障的產品和服務。

 

光學平臺係統

 

  • • AYA 係列-採(cǎi)用蜂窩結構桌麵(miàn)的空氣彈簧式隔振裝置



    蜂窩桌麵空氣(qì)彈簧式隔振裝置,隔振性能升級,機(jī)構多樣。
    Meiritsu Seiki 專有(yǒu)的平行擺動機構增強了水平隔振性能(néng)。排除了垂直和水平各個方(fāng)向的細微振動,滿足幹涉儀(yí)和全息術等光學實驗的需要。此(cǐ)外,各結(jié)構的性能也得到了(le)進一步改進。 這是一種高性能的隔振裝置(zhì),通過蜂窩麵包板改善了(le)麵板的(de)輕量化但保持了高剛性的特性。

    應用行業:
    • 光學(xué)和激光實驗

 

工作臺(tái)型光學隔(gé)振平臺

 

  • • ADZ-A 係列- 桌子型空氣彈簧隔(gé)振平臺(tái)



    兼具性價比、隔振性能和可操作性的新型係列。
    ADZ-A係列(liè)是暢銷的ADZ係列的高度升級版本。
    隔振性能進一步增強,工作舒適性大大提高(gāo),並增加了(le)更大(dà)的安裝麵板尺(chǐ)寸(cùn)。此外,為了使安裝在隔振器上的設備具(jù)有更好的可操作性,有許多選(xuǎn)項可供選擇(zé)。
    這些因素共(gòng)同創造了一種高性價比的隔振裝置(zhì),無論設備類型或使用場所如何,都可以(yǐ)使用。

    應用:


 

桌麵型隔振平(píng)臺

 

  • • AVT係列- 桌麵型空氣彈簧隔振平臺



    AVT係列是一款用來配套精(jīng)密(mì)儀(yí)器的高性能(néng)臺式(shì)隔振平臺
    此款臺式(shì)減振平臺(tái)採用先進的空氣懸架式(shì)隔振器(qì)。所有隔振功能都集成在一(yī)個緊湊的主機上。共有16 種型號來應對不同的精(jīng)密機器(qì)的特徵(zhēng)和隔振需求,且能夠簡(jiǎn)易地(dì)構建出高性能的隔振環境(jìng)。

    典型應用(yòng):

  • • ME係(xì)列-桌麵型主動隔振平臺



    三維(六(liù)自由度)桌麵型主動隔振(zhèn)平臺
    該平臺可以控製三個維度(六個(gè)自由度(dù))的振動,同時連續監測負(fù)載臺的振動。通過內(nà)置的驅動器施加(jiā)反(fǎn)向位的力,通過(guò)這種方式實現振動(dòng)控製。

 

  • • AET係列- 桌麵式鋼蜂窩空氣懸架隔振平臺



    集成了高性能隔振係統的桌麵式鋼蜂窩表麵(miàn)板空氣彈簧式隔振光學平臺
    隨著激光器本體和外圍設(shè)備的小型化以及光纖技術(shù)的改進,光學實驗(yàn)通常不需(xū)要(yào)像過去那樣長的光(guāng)路。Meiritsu Seiki一直在提供一係列許多桌麵型隔振設備(bèi)。AET係列將(jiāng)其與鋼蜂窩表麵板相結合,是小麵積光學實驗的理想隔振裝置(zhì)。

    應(yīng)用:



 

隔(gé)振器

 

  • • MAPS 係列- 氣(qì)動控(kòng)製的主動隔振係統



    六自由度主動控製為所有自由度的振動提供出色的隔振(zhèn)、阻尼和定位性能
    MAPS 係(xì)列是(shì)一種主動隔振裝置,它將所有必要的功能組合成一個緊湊的裝置(zhì),因此可以很容易地(dì)集成到客戶的設備中。

    應用行業:
    • 半導體(tǐ)

 

  • • MRZ係列-主動式氣懸浮係統



    在MAPS係列的基礎上,我們開發了高性能、合理的主(zhǔ)動氣動懸架係統MRZ係列(liè)!

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體工業(yè)

    應用:
    • FPD、半導體設備、電子顯微鏡、UHV-SPM、測量儀器、超(chāo)精密機等。

 

  • • AP大負載空氣(qì)彈簧(huáng)式隔振器



    AP 係列產品是為精密儀器量身定做,由(yóu)低(dī)成本、最適合您精密儀器的隔(gé)振係統構成的。
    我(wǒ)們的隔振裝置,除了具有優秀的性能外(wài),更重視產品的靈活性。當今有越來越多的(de)精密儀器需要將最匹配的隔振裝(zhuāng)置與精密(mì)儀器直接組裝(zhuāng),能夠滿足(zú)這類客戶需求的隔振裝置就是我們的 AP 係(xì)列。該係列產品不僅擁有優越的隔振性能(néng),還具有強大的拓展性(xìng)。我們的 AP係(xì)列產品可以為您的(de)精密儀器提(tí)供更為理想的隔振環境。

    應用行業:
    • 測量
    • 半導體

    應用:

 

明立(lì)的隔振產品廣泛應用於下列領域:

  • • 顯微鏡係(xì)統
  • • 光學(xué)和激光實驗
  • • 測量和稱(chēng)重(chóng)儀器
  • • 半導(dǎo)體製造和精密加工
  • • 納(nà)米表麵分析
  • • 地震和防災(zāi)

 

埃賽(sài)力達的LINOS®光(guāng)機器件使用(yòng)高精密度的工程技術和高級的材料(liào),可(kě)確保在科學研究和光子創新中,提供出色的穩定(dìng)性、可調節性和高性能。我們可以提供從Qioptiq®獲得的各種精密光機(jī)產品,包括Microbench Cage係列、Nanobench Cage係列、鏡座、立柱、支架和位移臺(tái),以及封閉的Tube-C係列(liè)、導軌係列和耐(nài)用的X-95 Profile係列。

 

LINOS麵包板和安裝板

埃賽力達的LINOS®麵包板和安裝板係列可以作為所有光學實驗裝置的開端。

 

LINOS可變光圈

埃賽力達是Qioptiq®的一員,可提供多種精密的LINOS®光圈(quān)、針孔和狹縫結(jié)構,可用於實驗裝置中嚴格(gé)的光控製。

 

LINOS Microbench光機工(gōng)作臺籠式係統

Microbench屬於原先的籠式光機係列,小巧緊湊,可精(jīng)確居中,易於集成和擴展(zhǎn)。LINOS® Microbench擁有全麵的(de)光學和機械部件,是(shì)許多光機裝置不可缺少的(de)一部分。經過優(yōu)化,可搭配使用從18到(dào)31.5毫米直徑的光(guāng)學器件。

 

LINOS鏡座

鏡座是光學組(zǔ)件中不可或缺的元件。埃賽力達提供的各種(zhǒng)底座(zuò)包括Lees、LINOS® Standard和LINOS Adjust.X係列鏡座,可滿足(zú)科學領域和工業領域的廣(guǎng)泛需求。

 

LINOS底座和立柱

埃賽力達有多種LINOS®底座、立柱和支架,包括用於矩形和圓柱形(xíng)元件的支架,以及用於已安(ān)裝和未安裝的光學器件或稜鏡的支架。

 

LINOS Nanobench

LINOS® Nanobench係統是一種精密的構建係列,其光束直徑最大為½",尺寸比LINOS Microbench係統更加緊湊。

 

LINOS調整架

埃賽力達提供種類豐富的精密LINOS®調整架,包括手(shǒu)動調節、線性調節、X-Y位移臺、旋(xuán)轉位移臺和測角儀,測角儀有多種調節範圍和負載能力。

 

LINOS導軌係統

LINOS®導軌係統可用於構建光學工作臺(tái)和光(guāng)束轉向係統(tǒng)。堅固的鋁合金上的軸承表麵經過精密銑削,並(bìng)進行了耐(nài)磨的黑色或無(wú)色陽(yáng)極氧化處理,使這些導軌係統成為線性(xìng)、平麵甚(shèn)至3維結構的理想基座。

 

LINOS管式係統

埃(āi)賽力達還提供了(le)封閉的模塊化LINOS管式係統,用於(yú)要求較高的不透光、無塵的實驗裝置,這是對我(wǒ)們的LINOS® Microbench和Nanobench開(kāi)方式籠式(shì)光機係統的補充。

概(gài)覽 菲克科技 Feinixs - 提供用於精密定位的高速、高精(jīng)度、高穩(wěn)定性運動控(kòng)製產品 明立Meiritsu - 一家生產隔振臺和光學麵包板的(de)製造商 EXCELITAS - LINOS - 精密光機(jī)產品(pǐn)
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